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1200℃-PECVD管式爐系統



          

          

                                          
                                
			
          

          




          
	
          


          
	
          


          

          


	
 




          

          
	
          
		
          
			
          
			
           
          
			
			
          
			
          
        	  
          
        	
          
						
          
				
          
				
          
					
          
						
          
							
           
          
							
							
						
          
												
          
							
           
          
							
						
          
												
          
							
           
          
							
						
          
											
          
				
          
				
          
			
          
					
          
		
          
                    
          
			
          1200℃-PECVD管式爐系統
          
			
          【產品名稱】1200℃-PECVD管式爐系統
          【爐管尺寸】φ40--φ100mm
          【加熱區】300mm/440mm 
          【額定溫度】1200℃
          【控溫精度】±1℃ 
          【應用領域】PECVD系統（等離子增強化學氣相沉積系統）由管式爐、真空獲得、流量控制和射頻電源四大模塊組成， 本設備借助13.56Mhz的射頻輸出使含有薄膜組成原子的氣體電離，在真空腔體內形成等離子體，利用等離子的強化學活性，改善反應條件，使含有薄膜組成的氣態物質發生化學反應，從而實現薄膜材料生長的一種新的制備技術，最終得到基片上沉積出所期望的薄膜。
          
			
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          商品描述
          

          

          【產品名稱】1200℃-PECVD管式爐系統
          【爐管尺寸】φ40--φ100mm
          【加熱區】300mm/440mm 
          【額定溫度】1200℃
          【控溫精度】±1℃ 
          【應用領域】PECVD系統（等離子增強化學氣相沉積系統）由管式爐、真空獲得、流量控制和射頻電源四大模塊組成， 本設備借助13.56Mhz的射頻輸出使含有薄膜組成原子的氣體電離，在真空腔體內形成等離子體，利用等離子的強化學活性，改善反應條件，使含有薄膜組成的氣態物質發生化學反應，從而實現薄膜材料生長的一種新的制備技術，最終得到基片上沉積出所期望的薄膜。
          性能特點：
          CVD管式爐系統由          管式爐、真空獲得、流量控制和射頻電源 
          管式爐可選擇不同的管徑和恒溫區的長度，爐管兩端裝有高真空不銹鋼密封法蘭； 
          真空獲得系統可根據試驗要求選擇不同的真空泵，旋片式機械真空泵真空度≤5pa，分子泵真空機組真空度1×10-4pa； 
          氣路供氣系統可選擇3路浮子手動和3路自動質量流量系統 
          真空測量為數字復合真空機或皮拉尼真空計 
          等離子體放電選擇13.56Mhz的設備電源，功率輸出可選擇200W、300W和500W 
          管式爐可選擇單溫區300mm和440mm，也可選擇三溫區或多溫區進行溫度的梯度試驗 
          溫控器內置的RS485數字通信端口和USB適配器作為可選配置，可連接PC，用于系統的遠程控制和監視，還可以保存或導出測試結果。 
          產品符合歐盟CE標準。 
                                       
                    
          
	
          


          
    
    
  


          	
	
          
 
          
     
          型號 
				
          STGP-40-12 
				
          STGP-60-12 
				
          STGP-80-12 
				
          STGP-100-12 
				
          爐管尺寸 
				
          Φ40 x 1200mm 
				
          Φ60 x 1200mm 
				
          Φ80 x1200mm 
				
          Φ100 x 1200mm 
				
          額定溫度 
				
          1200℃ 
				
          工作溫度 
				
          1100℃ 
				
          加熱區尺寸 
				
          300mm/440mm 
				
          電源電壓 
				
          220V/1.8KW 
				
          220V/2.6KW 
				
          220V/2.6KW 
				
          220V/2.6KW 
				
          加熱元件 
				
            HRE鐵鉻鋁合金電阻絲 
				
          爐膛材料 
				
          濕法真空抽濾成型制備的多晶無機氧化鋁陶瓷纖維材料 
				
          爐管材料 
				
          石英管 
				
          控溫精度 
				
          ±1℃ 
				
          測溫元件 
				
          N型熱電偶 
				
          溫控儀表 
				
          智能微電腦PID溫控儀表，SCR/SSR控制，PID參數自整定功能；可編程序30個時段，程序升溫、程序保溫、程序降溫 
				
          升溫速度 
				
          1-25℃/min自由調節 
				
          爐體結構 
				
          爐膛溫控一體式結構，爐膛開合式；雙層外殼，空氣循環隔熱 
				
          密封性能 
				
          爐管兩端裝有不銹鋼金屬法蘭，配套高溫 PTFE 墊圈，可在真空下進行工作， 真空度≤5pa（旋片式真空泵） 
				
          射頻電源 
				
          頻率：13.56 MHz±0.005%，功率：5W-500W，功率穩定性 ：±0.5%  
				
          氣體控制 
				
          可選擇3路浮子手動流量計，量程60-600ml /min；3路自動質量流量計，量程1-500sccm 
				
          氣氛性能 
				
          法蘭兩端有進氣口和出氣口，壓力表裝在金屬法蘭上，精密針型閥可調節進氣和出氣量，可通入氮氣、氬氣、氫氣等保護氣體 
				
          氣路接口 
				
          KF25真空擋板閥和KF25不銹鋼波紋管連接真空泵；保護氣氛6mm不銹鋼卡套接頭和PTFE管路 
				
          設備保護 
				
          模塊化控制，對工作過程中的超溫、斷偶會發出聲光報警信號，并自動完成保護動作 
				
          人員保護 
				
          在設備上裝有空開斷路器，如發生短路漏電情況時會自動彈開，能保護設備和操作人員
          外殼 
				
          優質冷軋鋼板數控機床下料加工，經過焊接、打磨、拋光、磷化、酸洗、表面靜電噴涂塑粉 
				
          質量認證 
				
          ISO9001   CE    SGS   TUV 
				
           
          
 
          
 
          

 
 
 

          

    
          
	   
	
		
          
			
          
	
	


          

          

          
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